电子束蒸发_关于电子束蒸发的基本详情介绍
2023-01-19 17:04:00   来源:互联网


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1、真空蒸发工艺是将固体材料置于高真空环境中加热,使之升华或蒸发并淀积在特定的衬底上,以获得薄膜的工艺方法。

2、真空蒸发工艺在微电子技术中主要用于制作有源元件、器件的接触及其金属互连、高精度低温度系数的薄膜电阻器,以及薄膜电容器的绝缘介质和电极等。

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标签: 电子束蒸发 真空蒸发 有源元件

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